润滑油脂挥发析出的微粒及因高温氧化产生的结块,是无尘环境的污染源之一。
油雾附着晶圆、光学镜片、无菌药械,产生斑点、短路、杂质污染,易造成成品报废,良率大幅下滑;油性微粒粘性极强,常规无尘擦拭无法彻底清理,产线需要频繁停机深度清洁,拉高人工、耗材与停产损耗;低湿半导体车间,油雾微粒易携带静电吸附粉尘,双重污染精密元器件,引发击穿报废风险。
依据 DIN EN ISO 14644-1:无尘室分级核心管控微粒为 0.2~5μm,而润滑脂油受热挥发后凝结成 0.2–0.5μm 油雾气溶胶,长期氧化结渣会产生 1–5μm 胶质颗粒,持续释放会导致微粒数量超标、降低洁净等级;依据 SEMI E78-0998 半导体防静电规范:油性微粒会改变表面电阻率,加剧静电吸附粉尘,无法满足 Level 1 静电管控要求;从机械原理角度来说,油脂随运行持续析出、飞溅、老化结块,属于持续性内源污染源;传统滚珠导轨金属磨损碎屑会和油脂混合,形成更难清除的复合污染物。
1. 全生命周期无需外部润滑油/脂,零油雾挥发、无胶质析出
2. 摩擦副由耐磨塑料+阳极氧化铝组成,无金属硬质碎屑,发尘量低
3. 部分产品通过SEMI E78-0998 Level 1 防静电认证,不会出现油脂干扰静电管控的问题
4. 长期免补油维护,无需停机加注润滑介质,减少洁净区开门、人员介入带来的二次污染。