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drylin能否满足洁净卫生的要求,是否对人体无害?

Fraunhofer IPA 认证
传统的导轨润滑油脂持续挥发油雾,运动磨损中产生的碎屑,这些微米级颗粒极易造成芯片报废、镜片划伤或药品污染,是洁净/无尘室环境中的主要污染源。ISO 14644-1 洁净度分级体系,依据每立方米空气中≥0.5μm悬浮微粒的数量划分等级。等级数字越小,代表洁净度越高,直接决定精密制造的良品率与工艺稳定性。
ISO 14644-1 洁净度级别特点
  • ISO 3 超高洁净 | 芯片制造核心,对0.5μm微粒实施严苛管控,专为光刻机、晶圆制造等纳米级工艺环境设计。

  • ISO 5 百级洁净 | 封装与医药,适用于半导体封装测试、生物制药无菌灌装及高端光学镜头的精密装配环节。

  • ISO 6 千级洁净 | 泛半导体制造,满足面板(LCD/OLED)制造、锂电池极片涂布及精密设备生产环境。
drylin 直线导轨的IPA检测报告
2003年,德国权威洁净检测机构弗劳恩霍夫(Fraunhofer)研究所对drylin® N40、W10、T25和T30四款主流导轨进行了专业的发尘测试,根据标准DIN EN ISO 14644-1,在速度v=1m/s、2m/s,分别统计空气中悬浮粒子大于或等于所标粒径0.2μm、0.3μm、0.5μm和5μm的粒子最大浓度(个/每立方米空气粒子),洁净度达到3~7级。

报告解读及产品特征

 

drylin T 系列 TK-01-30-01(T30)

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drylin T 系列 TK-01-25-02(T25)

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测试工况

0.1m/s 低速运行,IPA 认证ISO 3(行业最高洁净等级)

1m/s 常规高速,IPA 认证ISO 5(百级)

核心优势

T 型重载结构、摩擦力可调、极低发尘

兼顾运行速度与洁净度,承载力强,1:1替代传统滚珠导轨

推荐场景

EUV 光刻、晶圆检测、纳米级微组装、超高精度光学设备(极致洁净需求工位)

半导体封装、无菌制药灌装、医疗影像设备、镜头精密装配

 

drylin N 系列 NK-02-40-02(N40)

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drylin W 系列 WK-10-40-15-01(W10)

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测试工况

1m/s 高速,IPA 认证ISO 6(千级)

1m/s 高速,IPA 认证ISO 6(千级)

核心优势

超薄扁平型材,安装高度极小、轻量化,节省设备内部空间

双平行圆轨结构,抗扭转、刚性强,支持长行程往复运动

推荐场景

紧凑型检测设备、小型锂电无尘模组、精密实验室仪器

显示面板产线、锂电池干燥车间、大型无尘移载模组

:洁净等级和运行速度、负载直接相关。同一款导轨低速下洁净等级更高,高速会提升颗粒释放量、降低可适配洁净等级。T25与T30为同一类导轨的不同尺寸,T30实验数据验证了低速条件可适用更严苛的洁净度要求。

防静电
SEMI E78-0998 ESD防静电标准
SEMI E78-0998 是全球半导体晶圆厂强制通用的设备静电兼容规范,全称《设备静电放电 (ESD) 与静电吸附 (ESA) 评估控制指南》,专门约束无尘车间自动化零部件运动时产生的静电电荷、表面电位,核心解决两大产线致命问题:静电击穿纳米级晶圆、光罩、芯片元器件;带电表面吸附空气中粉尘,破坏洁净度、降低良率。标准将设备零部件静电管控能力划分为多个等级,Level 1 是最高、最严苛的一级。
drylin 直线导轨防静电报告
经测试,iglidur® 滑块 + 硬质阳极氧化铝导轨的摩擦组合,全部拿到半导体最高 ESD 等级。测试覆盖 1m/s、2m/s 工业常用运行速度,滑块往复滑动、与铝合金型材导轨摩擦全过程,几乎不产生静电,远低于芯片、晶圆耐受阈值(多数先进制程芯片仅能承受<200V 静电冲击);表面几乎无电荷积累,不会主动吸附无尘空气中 0.2~5μm 微颗粒,从源头减少粉尘附着。
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下载drylin产品的RoHS2 2011/65/EU符合性声明

RoHS 合规

RoHS是由欧盟立法制定的一项强制性标准,它的全称是《关于限制在电子电气设备中使用某些有害成分的指令》(Restriction of Hazardous Substances)。该标准已于2006年7月1日开始正式实施,主要用于规范电子电气产品的材料及工艺标准,使之更加有利于人体健康及环境保护。该标准的目的在于消除电器电子产品中的铅、汞、镉、六价铬、多溴联苯和多溴二苯醚共6项物质,并重点规定了镉的含量不能超过0.01%。

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中国drylin直线产品经理黄宇波
黄宇波 Kevin Huang drylin®产品经理
座机: 021-80366699
邮箱: khuang@igus.net
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