无尘室直线导向及驱动解决方案
依据 DIN EN ISO 14644-1 标准,易格斯 drylin® 直线导向产品可应用于无尘环境;其可达到的无尘等级,取决于现场实际负载与运行速度。同时,根据SEMI E78-0998 ,iglidur ® J 耐磨材料搭配硬阳极氧化铝的组合,满足ESD防静电 1 级最高标准要求。查看IPA报告解读
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drylin® 直线导向驱动产品适配无尘工况,无尘等级受负载、速度等工况影响,易格斯提供弗劳恩霍夫 IPA 测试报告,支持样品申领。


















