SLW-1040 干式洁净室直线模组
干式洁净室要求极为严苛。其一,任何机械运动都不得产生颗粒物,以免影响精密结构、传感器或表面精;其二,空气湿度极低,以避免水汽侵入、冷凝结露或水性颗粒物产生。传统的直线驱动系统需要定期添加润滑剂,润滑剂会硬化、挥发或成为颗粒物载体。 drylin® SLW-1040 系列直线模组将轻质高刚性铝合金结构、高性能 dryspin® 10×25 大导程丝杠与低摩擦 iglidur® E7 滑动轴承融为一体,专为对洁净度、耐磨性要求严苛的干式洁净环境设计。IPA测试认证报告
常见干式洁净室:
- 半导体制造与电子装配
- 光学器件生产与激光设备
- 精密测量与微分析检测设备
- 锂电池生产与干燥测试环境
- 医疗、实验室等对洁净度要求极高的工艺






