适合无尘室的长行程

全新升级版C6无尘拖链配备全新导向系统，结构紧凑、经久耐用，

使设备制造商能够在无尘室生产环境中，即使在超长行程下也能安全引导能源与数据传输。

在现代化半导体工厂中，硅晶圆需要历经光刻、刻蚀、掺杂到金属化等众多工艺步骤。这些工序在不同设备中完成，设备之间往往相距较远。由于对洁净度和无颗粒环境有着严苛要求，无尘室内无法采用人工搬运，而是通过自动物料搬运系统（AMHS）安全高效地长距离传输晶圆盒（FOUP，前开式标准晶圆盒）。可靠的解决方案之一是天车输送系统（OHT)——一种沿轨道运行的天车系统，可在顶部空间搬运FOUP，最大化利用无尘室空间。除传输外，存储系统（Stocker）同样至关重要。这类系统对供能与数据传输提出极高要求，需要可靠的供能系统系统来实现：

在无尘室拖链应用中，耐磨性是核心指标。在此方面，C6系列拖链完全符合标准。其磨损几乎可以忽略不计。即使在高负载工况下，全新C6拖链也几乎无磨损，因此它非常适用于无尘室。另外，它运行极其安静且易于安装。

产品优势：