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C6无尘室拖链配备e-spin导向系统

适用于最长30米行程的创新无尘室解决方案

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全新升级版C6无尘室拖链搭配专用导向系统,让设备制造商即使在无尘室超长行程工况下,也能充分利用紧凑耐用的拖链优势,实现供能与数据的传输。
我们这款适用于最长30米行程的全新无尘室解决方案具备显著优势:
  • 耐磨性能优异,通过弗劳恩霍夫IPA机构 ISO 无尘室认证
  • 长行程运行稳定可靠
  • 模块化设计、免维护——高度自动化无尘环境的理想之选
    精进技术    降低成本
  • 配套专用导向系统的创新无尘室解决方案, 即便在长行程运行中也几乎不产生任何颗粒物。
  • 单套系统即可实现长距离传输过程中安全供电与数据传输,且无额外颗粒物产生
    测试结果     可持续性   
  • 整套8米行程的系统已通过弗劳恩霍夫IPA认证,达到ISO 1级至4级无尘室标准
  • 通过减少颗粒物提升生产良率,节约资源。
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无尘室中的自动化晶圆搬运
在现代化半导体工厂中,硅晶圆需要历经光刻、刻蚀、掺杂到金属化等众多工艺步骤。这些工序在不同设备中完成,设备之间往往相距较远。由于对洁净度和无颗粒环境有着严苛要求,无尘室内无法采用人工搬运,而是通过自动物料搬运系统(AMHS)安全高效地长距离传输晶圆盒(FOUP,前开式标准晶圆盒)。可靠的解决方案之一是天车输送系统(OHT)——一种沿轨道运行的天车系统,可在顶部空间搬运FOUP,最大化利用无尘室空间。除传输外,存储系统(Stocker)同样至关重要。这类系统对供能与数据传输提出极高要求,需要可靠的供能系统系统来实现:
  • OHT 单元供电
  • 数据传输(如以太网、传感器信号)
  • 在动态且空间紧凑的无尘室环境中安全引导电缆
C6拖链系统应用于无尘室应用
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非常适用于无尘室,几乎无磨损且具有高强度
耐磨性是决定一款拖链是否可以用于无尘室的关键因素之一。在此方面,C6系列拖链完全符合标准。其磨损几乎可以忽略不计。即使在高负载下,这种新型C6拖链也几乎无磨损,因此它非常适用于无尘室。另外,它运行极其安静且易于安装。

[新]现隆重推出内高为 22 毫米的全新型号。在外径方面采用了全连续的优化设计,配备的横杆与由易格斯工程塑料(iglidur J)制成。为各类电缆护套或软管材料提供了堪称完美的贴合表面。侧板则一如既往地采用低磨损抗静电(ESD)材料。此外,我们还配备了新型装配工具,操作简便。

典型应用领域:电气制造、半导体行业、FPD生产、微电子、带控制面板的机器人、包装、绘图仪、医疗技术
如有任何问题,您可以联系:
拖链产品工程师
邱伟毅 Abel Qiu 拖链产品销售工程师
座机: 021-80366856
邮箱: aqiu@igus.net
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