C6无尘室拖链配备e-spin导向系统
适用于最长30米行程的创新无尘室解决方案
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| 精进技术 | 降低成本 |
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| 测试结果 | 可持续性 |
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无尘室中的自动化晶圆搬运
在现代化半导体工厂中,硅晶圆需要历经光刻、刻蚀、掺杂到金属化等众多工艺步骤。这些工序在不同设备中完成,设备之间往往相距较远。由于对洁净度和无颗粒环境有着严苛要求,无尘室内无法采用人工搬运,而是通过自动物料搬运系统(AMHS)安全高效地长距离传输晶圆盒(FOUP,前开式标准晶圆盒)。可靠的解决方案之一是天车输送系统(OHT)——一种沿轨道运行的天车系统,可在顶部空间搬运FOUP,最大化利用无尘室空间。除传输外,存储系统(Stocker)同样至关重要。这类系统对供能与数据传输提出极高要求,需要可靠的供能系统系统来实现:
- OHT 单元供电
- 数据传输(如以太网、传感器信号)
- 在动态且空间紧凑的无尘室环境中安全引导电缆
C6拖链系统应用于无尘室应用

非常适用于无尘室,几乎无磨损且具有高强度
耐磨性是决定一款拖链是否可以用于无尘室的关键因素之一。在此方面,C6系列拖链完全符合标准。其磨损几乎可以忽略不计。即使在高负载下,这种新型C6拖链也几乎无磨损,因此它非常适用于无尘室。另外,它运行极其安静且易于安装。
[新]现隆重推出内高为 22 毫米的全新型号。在外径方面采用了全连续的优化设计,配备的横杆与由易格斯工程塑料(iglidur J)制成。为各类电缆护套或软管材料提供了堪称完美的贴合表面。侧板则一如既往地采用低磨损抗静电(ESD)材料。此外,我们还配备了新型装配工具,操作简便。
典型应用领域:电气制造、半导体行业、FPD生产、微电子、带控制面板的机器人、包装、绘图仪、医疗技术
如有任何问题,您可以联系:

邱伟毅 Abel Qiu 拖链产品销售工程师

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