用于狭小空间的无尘室供能系统

简况

• 应用：带空气轴承的线性系统，可实现高度精确的调整
• 行业：无尘室/半导体
• 要求：弯曲半径小，磨损小
• 所用产品：e-skin flat SKF12.4.03.1.01双层和四层系统
• 需求：即装即用系统解决方案
• 使用环境：室内和洁净室的安装工程
• 关于线性系统：带有空气轴承的线性系统的特点是轴承摩擦程度低。与滚珠轴承线性系统相比，这在缓慢运动期间是一个优点。特别是，垂直运动方向的声音可能非常小（≤1 nm），这取决于技术设计。这种特性使得这些线性系统特别适用于粗糙度和形状测量设备的应用。

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